過熱蒸汽瞬時(shí)滅菌對于滅菌工藝來說，雖然過熱蒸汽溫度更高，具有比飽和蒸汽更多的熱量，但過熱部分的熱量與飽和蒸汽冷凝所放出的汽化潛熱相比卻非常的小。從過熱蒸汽溫度降至飽和溫度的時(shí)間長，使用過熱蒸汽加熱將降低效率。對滅菌來說，蒸汽冷凝放熱的效率影響滅菌的實(shí)際效果。有時(shí)即使使用自備鍋爐或蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生飽和蒸汽，但是飽和蒸汽在進(jìn)入滅菌柜前的蒸汽調(diào)壓也會導(dǎo)致飽和蒸汽變成過熱蒸汽。
蒸汽減壓是一種絕熱膨脹，上游高溫高壓蒸汽的減壓，只有通過提高下游蒸汽的過熱度來保持能量守恒。通過蒸汽減壓閥的壓力下降產(chǎn)生的蒸汽過熱度取決于減壓比，也取決于上游蒸汽的實(shí)際情況，如果已經(jīng)知道上游蒸汽是濕蒸汽，下游有可能為濕蒸汽、干飽和蒸汽或者過熱蒸汽，具體是哪種狀態(tài)取決于壓降。允許的出口流速取決于蒸汽的狀態(tài)。
必須注意的是當(dāng)蒸汽中含有3%以上的冷凝水時(shí)，雖然蒸汽的溫度達(dá)標(biāo)，但由于分布在產(chǎn)品表面的冷凝水對熱量傳遞的阻礙，蒸汽溫度經(jīng)過冷凝水膜時(shí)會逐步遞減，使得到達(dá)產(chǎn)品的實(shí)際滅菌溫度會低于滅菌溫度要求。特別是蒸汽攜帶的水，其水質(zhì)可能會污染滅菌產(chǎn)品。
如何保持過熱蒸汽瞬時(shí)滅菌的干飽和狀態(tài)，既不過熱也不潮濕，是滅菌蒸汽的要求和檢測標(biāo)準(zhǔn)。
實(shí)際應(yīng)用中往往通過檢測蒸汽溫度來控制滅菌效果，但是蒸汽溫度和滅菌產(chǎn)品最不利滅菌點(diǎn)要求溫度有時(shí)會不同。
比如當(dāng)蒸汽中含有冷凝水時(shí)（不*干燥），雖然檢測蒸汽的溫度達(dá)標(biāo)，但由于分布在產(chǎn)品表面的冷凝水對熱量傳遞的阻礙，使得到達(dá)產(chǎn)品的實(shí)際滅菌溫度會低于滅菌溫度要求。特別是鍋爐攜帶的爐水，其水質(zhì)可能會污染滅菌產(chǎn)品。
空氣等不凝性氣體如果不能*排盡，或在進(jìn)蒸汽時(shí)混有空氣，空氣會對蒸汽的滅菌溫度形成另外的影響，當(dāng)滅菌柜室內(nèi)的空氣未排除或未*排除會導(dǎo)致嚴(yán)重的滅菌問題。
